Der 100 km große Krater am Nordwestwand des Nektarmeeres ist der jüngste der Kraterkette, zu der auch Cyrillus und Catharina gehören. Seine Kraterwälle erheben sich etwa 1200 m über die Umgebung und sogar 5000 m über den Kraterboden. Das Zentralgebirge ragt immerhin 2000 m über den Kraterboden und durchmisst 30 km.

Theophilus überlagert im Süden teilweise den älteren Krater Cyrillus, dessen 3500 m hohen Kraterwälle außerdem durch einen weiteren, 17 km großen Krater eingedrückt werden. Im Zentrum des 93 km großen Cyrillus ist der Zentralberg noch erhalten.

Südlich von Cyrillus schließt mit Catharina der älteste Krater dieser markanten kleinen Kraterkette an. Der 97 km große Krater hat einen recht glatten, 3000 m hohen Wall. Vor allem der Westteil des Kraters ist von kleineren Kratern und Hügeln durchzogen.